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電子半導體行業用超純水設備系統優勢

文章作者:萊特萊德   發布時間:2022-08-10
電子半導體行業用超純水設備采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后期處理四大步驟,萊特萊德可根據客戶需求,設計不同產水量、不同產水要求的超純水設備。
超純水設備

電子半導體行業用超純水設備工藝流程

1、采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:

原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式,其基本工藝流程為:

原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點

3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的的方式,這是一種制取超純水的工藝,也是一種環保,經濟,發展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:

原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點
超純水設備

電子半導體行業用超純水設備系統優勢

1、系統采用新的水處理技術雙級RO+EDI+混床模塊化設計,嚴格按新技術設計標準,確保水質穩定,長效運行。

2、通過專業技術設計,確保系統短時停機及長時間停機時水質保持穩定。

3、通過專業技術保證終端出水恒壓、水質穩定。

4、通過完善的技術,較大限度的提高系統回收率,降低能耗和運行成本。

5、采用海德能ESPA2超低壓膜,運行穩定,能耗低。

6、采用PH調節系統以確保水溫下降或原水PH值偏低時EDI出水水質。

7、配備專門的有化學清洗系統,可定期對反滲透進行化學清洗,以確保系統穩定運行。

8、配備濃水置換專業技術,防止膜系統受到微生物污染。

9、EDI及后段出水采用超純水專用管道,較大限度的保證出水水質。

10、EDI水箱采用氮封裝置,以確保終端水質穩定及延長核能混床壽命。

11、采用PLC加觸摸屏控制系統,并采用進口電氣原件,操作方便,運行穩定。
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